郑州某半导体行业鑫霖环保芯片制做厂,晶圆净化治疗全过程中生产含硅、氟的比较特殊生产废液,来设计净化治疗面积1200吨/日。生产废液基本成分繁琐,富含微米级硅粉末及盐酸,传统与现代净化治疗的方法仍未考核标准。
生活污水材质及收入
重要被有害物质
:胶体溶液硅(100-500nm粒度)、氟阴阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
渠道流程
:晶圆刻蚀废污水(45%)、CMP有机化学厂家镜面抛光废污水(40%)、机械喷洗水(15%)
净化处理加工制作工艺 工作流程
创新技术性利用"生物水解+特种工艺膜分离法"技术性规划:
钙盐放置
:加药系统氯化钙出掉氟化合物(转成CaF2沉淀物)
二沉池不起作用
:组合二沉池剂达成固体硅脱稳
管式微滤
:0.1μm内径膜挪作他用微细颗粒物
反渗透装置法体系
:脱盐率>98%,收回率75%
蒸发掉成果
:浓水段体现氟化物零释放
终结感觉
氟化物浓度值:<8mg/L(底于发达国家两级规定10mg/L)
硅含铁:<5mg/L
水的资源循环率:70%用作冷却水塔补充水分
危废处理减轻药量:蒸馏碎渣量较老式技艺下降60%