某半导体设备电子器件制造技术厂在晶圆加工制作的时候中,施用硅烷做好硅概念发展,汽车尾气干洗塔制造高有机废气浓度含硅废液。废液都具有pH跌涨大(2-11)、硅分量高的优点和缺点,传统的清理方案易展现硅垢堵塞了方面。
废渣材料及来历
废水处理方法主要是组成成分为:
融解性硅酸盐
:SiO₂酸度达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢氧化的钠
:洗衣塔酸碱性洗衣液留下
顆粒硅
:纳米级级SiO₂悬浊液
痕量砷
:奶茶原料硫氰酸盐进入
治理 加工过程环节
不断创新采取"多级结合+膜净化+蒸发掉沉淀"工艺技术:
一級采和
:用CaO调试pH至4-5,转成硅酸钙沉定,硅清除率60%。
2级采和
:加Na₂CO₃将pH优化至9,进两步沉淀出的结余硅,串联用镁剂除砷。
超滤膜软件系统
:0.02μm陶瓷图片膜过滤装置nm级硅粒子,通量安全稳定在80LMH。
MVR挥发器
:提液高盐废水处理,凝结出Na₂SO₄副好产品,水中水回用率超90%。
结果英文郊果
总硅从1500mg/L减至5mg/L下面
砷硫含量从0.8mg/L降为0.01mg/L
装置无积垢启动可超过2年
历年出售硫酸钠钠晶胞约800吨