该晶圆创造厂坐落华南省市，其主要工作89英寸半导体行业晶圆，单日生活污水减排量约800吨。鉴于工作整个过程中安全使用不少氢佛酸使用晶圆蚀刻，会导致生活污水底氟化物溶度高达hg200-300mg/L，远超地区减排细则（10mg/L下面）。 生活污水含量及源 废水处理具体产于两个关键点： 晶圆蚀刻加工过程 ：含ab剂值氟化物（HF）、氰化钠及极富天价属 物理化学设备镜面抛光（CMP）废液 ：含奈米级硅顆粒、充分络合剂 设备清洁工作工业废水 ：含异丙醇、氟化物等巧妙物 处理新工艺方案 主要包括"化学物质乳浊液自己+混泥土乳浊液自己+厚度脱水"三类处里系统的： 一级通过成绩操作 ：加药系统氯化钙和氢阳极氧化钙，成型氟化钙石雕文化沉淀，氟化物清除率达85% 特殊办理 ：放入PAC（配位碱式氯化铝）和PAM（聚乙烯酰胺），除去胶体溶液态环保问题物 两级加工 ：使用多材质油烟净化器器和特异性炭吸出，溢水氟化物有机废气浓度安全稳定在8mg/L接下来 关键所在环保设备包涵：pH智能设定系統、斜管乳浊液池、板框板框压滤机（飞灰过滤）。 然后功效 工程项目启用十年探测数据库现示： 氟化物均值溶度：7.2mg/L（不高于國家规范标准） COD剔除率：92% 生活污水含水量率：≤65% 年环保再生的资源回收氟化钙副產品约150吨，满足的无害化使用