某半导厂在的生产方式中用氯化铵系成像液，存在高溶度含NOx污废水 ，日办理量50吨。污废水 中含NO2-达到2000mg/L，且含微量分析有机会光刻胶物质，办理高难度更大。 2. 废水处理工艺部分及来自 显影液多种工序残液（关键水大气污染） 晶圆洗涤化工废水 烟气洗衣塔排水管道 3. 加工处理生产工艺程序流程 通过"最高级氧化的+两极生物学解决"改革创新艺： O3腐蚀 ：顺利通过臭氧杀菌等离子发生器存在O3，将难溶解有机化学物溶解为小碳原子产品，直接将NO2-硫化为NO3-。 生态学膜影响器（MBR） ： 首级：缺氧症状自然环境下加药系统甲醇当做碳源，增进反反硝化细菌表现 第二个级：好氧生物技术膜进的一步可降解可挥发物 电有机化学强度处置 ：分为钛基表层探针，使用电解抛光效果恢复细化残留被污染的物。 4. 之后体验 NOx总氮减少为8mg/L之下 COD固定在30mg/L内 废水处理工业废水处理率达60% 程序操作用电量抑制在3.5kWh/吨水，较传统的流程绿色建筑20%。