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这项目地属华东位置位置全家老牌半导体器件研制企业公司,常见工作89厘米和129厘米晶圆。伴随着产销量提升,机磨工艺程序发生的废蓄水量从原来的200吨/日提升到350吨/日,以往工作公共设施已未能能够满足要求,且有水出水的硬度不稳固,迫切需要改扩建和除理废水除理工艺工作设计。
废水处理工艺物质及源
该各个企业研磨设备废水处理方法主要的位于如下步骤:
电学机械性抛光(CMP)化工废水:所含二阳极氧化物硅、阳极氧化物铝等抛光粒子,孔径在0.1-1μm区间
晶圆后面抛光化工废水:具有硅粉、金属质正离子(铜、铝等)及大量有机肥料修改剂
切开打磨废气:最主要材料为氢氟酸处理硅颗粒状和切除油面霜
生产废水因素情况为:pH值变化大(2-11)、悬屏物氧浓度高(500-2000mg/L)、具有刺激性轻微天价属和难吸附设计物,COD常在200-500mg/L范围之内。
办理工艺技术注意事项
所经多少次小试和中试,进而确立选择下面工作工序:
上下调整池
:布置pH再线监测程序和自主加量程序,将生产废水pH稳定可靠在6.5-7.5范围内
混泥土放置
:加药配位聚铝(PAC)和阴阳离子型pe塑料酰胺(PAM),混和不良反应后进入斜板乳浊液池
溶气气浮
:使用部门回到式溶气气浮,进1步洗去狗细小颗料和橡胶胶体部分物资
多媒介滤过
:按照熔融石英砂+抗逆性炭多级过滤水,保证 冒水SS<10mg/L
膜进行处理设备
:主要包括超滤膜(UF)和超滤工作会更(RO)有级,RO浓水同时清理
污泥干化解决
:沉淀物和气流浮污泥干化经板框压滤后运输外理
核心技术规格:混泥土的时候G值有效控制在60-80s⁻¹,反應的的时间15min;气浮逆流比30%,等候的的时间20min;反渗入装置通量60LMH,反渗入的回收利用率75%。
最后感觉
模式正常运作安稳后,出液饮用水彻底到达《電子化工业水被污染源进行排出细则》(GB39731-2020)特意进行排出标准值标准要求,通常指标英文内容如下:
SS<5mg/L(除掉率>99%)
COD<30mg/L(删去率>93%)
铜铁离子<0.3mg/L
出水量使用率超过65%上面的
厌氧颗粒污泥减药40% compared to原工艺设备
某项目总投资项目约1200万多,开机运行直接费用约8.5元/吨水,今年可下降废水处理工艺废气排股票放量7万吨左右,回笼水网络资源4万吨左右,社会经济利润和条件利润正相关。