半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
新项目情况
该单位为欧洲技术领先的半导公测单位,属于珠四角地方,主耍做好中档IC芯片的片区和装封公测。是因为本省节能环保规范要求从紧,单位取决于推进废气零污染物工业。项目流程于22年开机,202一年6月建好投建,清理范围为200吨/日,总注资约2000上万元。
电镀废水材料及来源地
本项需求划区生产废水有着下列特性:
高氨水含量氟化物,最主要根据晶圆切后的擦拭制作工艺,氟阳离子氨水含量高达独角兽150-200mg/L
带有微米级硅粉粒状,粒级多在100-500nm期间
有机的承载较高,COD在500-800mg/L
包含的轻微天价属如铅、镉等
导电率高,基本上在2000-3000μS/cm
治理方法注意事项
为做到零尾气排放梦想,技术定制主要采取电镀废水的分类获取和教育资源收废:
生产废水进行分类采集系统性
:将含氟化工污废水 与任何化工污废水 分别抽取
无机化学积累除氟
:适用有级钙盐结晶法,紧密配合有效率结晶池
高等 空气氧化治理
:嗅氧离子液体腐蚀光降解难操作充分物
膜浓缩咖啡软件
:分为DTRO碟管式超滤到,提液4的倍数为10倍
蒸发器成果
:MVR设备蒸汽式再缩小蒸发掉器加工处理浓水
粗糙机系统
:将成果盐干后最为产业副企业产品外售
清理效用
体统使用动态数据界面显示:
氟化物洗去率>99.9%,喷水氟铝离子<1mg/L
COD总出掉率>98%,冒水COD<20mg/L
水资源保护性收集率>95%,仅诞生小量晶粒盐
几乎每年可收购 高品控循环水约8万吨
沉淀盐溶解度满足行业级准则,做到网络秸秆综合利于利于
该项目不仅仅达成了废水处理零减排,还经过资源英文二手回收創造了约80万块人民币/年的30%投资回报。